I. 電子水準器方式: 迅速なオンサイト評価 (中規模から大規模のプラットフォームに適しています)-
毎日の検査や四半期ごとの再テストに適しています。簡単操作、低コスト、精度±0.005mm/mまで。
1. 測定原理: 水準器を使用してさまざまな位置の傾斜角度を測定します。データを用いて点間の相対高低差を計算し、平坦度誤差を計算します（レンジ法）。
2. 操作手順:
テーブル表面を清掃し、油、溶接ノロ、その他のゴミを取り除きます。
「米」の形のパス（対角線2本＋辺正中線4本）に点を等間隔に配置します（ピッチ200～500mmを推奨）。
各点に水準器を置き、気泡が安定した後の読み取り値（単位：目盛）を記録します。
分割数を高さの差に変換します (たとえば、感度 0.02mm/m、ピッチ L=0.3m の場合、各分割数は 0.006mm に相当します)。
すべての点の最大値と最小値の差を計算します。これが平坦度誤差です。
3. 異常の判定基準
測定値＞0.10mm/1000mm（精度級）の場合は異常と判断し、単一の季節変化が 0.02 mm/1000 mm を超える場合は、内部ストレスが活発であることを示しており、警告が必要です。
✅ 自動データ記録と傾向分析をサポートし、効率を向上させるデジタル電子レベルの使用をお勧めします。
II.座標測定器方式: 高精度の定量検出 (検収および検証に適しています)
ロボット溶接や量産前のベンチマーク確認など、高精度が要求されるシナリオに適しています。
1. 測定原理
このシステムは、X、Y、Z 軸に沿ってスタイラスを移動することにより、テーブル上の複数の点の座標を収集します。ソフトウェアは理想的な平面をフィッティング (最小二乗法) し、実際の表面と理想的な平面の間の最大偏差を計算します。
2. 運用上のポイント
システムの精度を確保するために、測定前にプローブを校正します。少なくとも 50 個の測定点をテーブル上に均等に配置します (グリッド法)。環境振動や温度変動による干渉を避けてください。データ処理には専門的なソフトウェア（PC-DMIS など）を使用してください。
3. 異常の判定基準
平坦度=正の最大偏差 - 負の最大偏差;工場標準を超える偏差 (例: 精度等級 > 0.10mm/1000mm) は異常とみなされます。 3D 地形図を生成し、隆起、凹面、または歪んだ領域を視覚的に表示できます。
📌 利点: 変形位置を正確に特定し、その後の修復のためのデータサポートを提供します。
Ⅲ．レーザー干渉計方式: 超-高精度非接触検査- (高精度プラットフォームの受け入れに適しています)-
航空宇宙や精密金型アセンブリのワークテーブルなど、平面度要件が 0.05 mm/1000 mm 以下の高精度プラットフォームに適しています。{0}
1. 測定原理
オプティカルフラットの作業面を理想的な平面基準として利用し、レーザービームが測定面を照射して干渉縞を形成します。フリンジの曲率は平坦度誤差を反映します。各閉じた縞は、λ/2 (白色光下で約 0.3μm) の高さの差を表します。
2. 操作手順
きれいになったテーブルの上にオプティカル フラットをそっと置きます。
レーザー干渉計をオンにして光路のアライメントを調整します。
干渉画像を観察し、縞の形状と数を分析します。
縞が閉ループに湾曲している場合、平坦性誤差は=干渉縞の数 × λ/2 になります。
3. 異常判定
干渉縞が明らかに湾曲しているか閉じている場合、それは局所的な凸面/凹面の存在を示します。
フリンジが中心から端に移動する場合 → 表面は凸面になります。それ以外の場合は凹面になります。
0.05mm/1000mmを超える誤差値は許容範囲外とみなされます。
⚠️ 注: 滑らかで小さな平坦な表面にのみ適用されます (通常は<500mm). Large-area inspections need to be performed in segments.
